მისამართი

1666 Jianye Road, მაღალტექნოლოგიური ზონა, ქალაქი ლეშანი, სიჩუანის პროვინცია, ჩინეთი.

ტელეფონის ნომერი +86 15390206217
ელფოსტა sale@sanjiangchem.com

ქიმიკატები ნახევარგამტარული პროცესებისთვის

cc09bd33a0ddd2aaadac4a8a4d3008a1ნახევარგამტარების წარმოება ძირითადად ქიმიურად დაკავშირებული პროცესია, პროცესის ეტაპების 20%-მდე გაწმენდა და ვაფლის ზედაპირის მომზადებაა:

ჩვენ მიჩვეულები ვართ ვაფლის წარმოებაში გამოყენებულ ქიმიურ მასალებს, როგორც პროცესის ქიმიკატებს, მოვიხსენიოთ სხვადასხვა ქიმიური ფორმით (თხევადი და აირისებრი) და მკაცრად კონტროლდება სისუფთავით.ამ პროცესის ქიმიკატების ძირითადი ფუნქციები შემდეგია:

გაასუფთავეთ ვაფლის ზედაპირი სველი ქიმიური ხსნარით და ულტრასუფთა წყლით;

დოპინგ სილიკონის ვაფლები მაღალი ენერგიის იონებით P- ან N- ტიპის სილიკონის მასალების მისაღებად;

ლითონის გამტარი ფენების და აუცილებელი დიელექტრიკული ფენების დეპონირება გამტარ ფენებს შორის;

შექმენით თხელი SiO2 ფენა, როგორც MOS მოწყობილობების მთავარი კარიბჭის დიელექტრიკული მასალა;

გამოიყენეთ პლაზმური გაძლიერებული ოხრახუში ან სველი რეაგენტები მასალების შერჩევით მოსაშორებლად და ფილმზე სასურველი ნიმუშის შესაქმნელად;

თხევადი მაღალი სისუფთავის რეაგენტები კლასიფიცირდება სამ კლასად: UP-S, UP და EL მათი სისუფთავის მიხედვით და EL შემდგომში იყოფა:

ელექტრონული კლასი 1 (EL-Ⅰ)
აქვს ლითონის მინარევების შემცველობა 100–1000 PPb, რაც SEMI C1 C2 სტანდარტის ექვივალენტია;

ელექტრონული კლასი 2 (EL-Ⅱ)
ლითონის მინარევების შემცველობა არის 10-100 PPb, SEMI C7 სტანდარტის ექვივალენტი;

ელექტრონული კლასი 3 (EL-Ⅲ)
აქვს ლითონის მინარევების შემცველობა 1–10 PPb, რაც SEMI C7 სტანდარტის ექვივალენტურია;

ელექტრონული კლასი 4 (EL-IV)
აქვს ლითონის მინარევების შემცველობა 0,1–1PPb, რაც SEMI C8 სტანდარტის ექვივალენტურია;

ულტრასუფთა და მაღალი სისუფთავის რეაგენტები საერთაშორისოდ ცნობილია, როგორც პროცესის ქიმიკატები, ასევე ცნობილი როგორც სველი ქიმიკატები და წარმოადგენს ერთ-ერთ ძირითად ძირითად ქიმიურ მასალას ინტეგრირებული სქემების (IC) და ძალიან ფართომასშტაბიანი ინტეგრირებული სქემების (VLSI) წარმოების პროცესში. .იგი ასევე გამოიყენება სილიკონის ვაფლის ზედაპირის გასაწმენდად და ამოსაჭრელად.ულტრასუფთა და მაღალი სისუფთავის რეაგენტების სისუფთავე და სისუფთავე ძალიან მნიშვნელოვან გავლენას ახდენს ინტეგრირებული სქემების მოსავლიანობაზე, ელექტრულ თვისებებზე და საიმედოობაზე.არსებობს ელექტრონული კლასის ქიმიკატების მრავალი სახეობა და მაღალი ტექნიკური მოთხოვნები.იგი ეფუძნება მიკროელექტრონული ტექნოლოგიების განვითარებას.მიკროელექტრონული ტექნოლოგიის განვითარებით, იგი ვითარდება სინქრონულად ან დროზე ადრე.ამავდროულად, ის ზღუდავს მიკროელექტრონული ტექნოლოგიების განვითარებას.


გამოქვეყნების დრო: ივნ-23-2022